SPP 1119:  Anorganische Materialien durch Gasphasensynthese: Interdisziplinäre Ansätze zu Entwicklung, Verständnis und Kontrolle von CVD-Verfahren

• Fachliche Zuordnung: Wärmetechnik/Verfahrenstechnik ; Chemie ; Wärmetechnik/Verfahrenstechnik
• Förderung: Förderung von 2001 bis 2007
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5471190

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• DFG-Verfahren: Schwerpunktprogramme

Projekte

• Alternative MOCVD-Precursoren zur Abscheidung von AlSb, GaSb und InSb (Antragsteller Wandelt, Klaus )
• Alternative MOVCD-Precursoren zur Abscheidung von AlSb, GaSb und InSb (Antragstellerinnen / Antragsteller Kohse-Höinghaus, Katharina ;  Schulz, Stephan ;  Wandelt, Klaus )
• Aufeinander abgestimmte intramolekular adduktstabilisierte Alkoxid- und Amid-Prekursoren für MOCVD von oxidischen ferroelektrischen Schichtstrukturen (Antragstellerin Devi, Anjana )
• Aufeinander abgestimmte intramolekular adduktstabilisierte Alkoxid- und Amid-Prekursoren für MOCVD von oxidischen ferroelektrischen Schichtstrukturen (Antragsteller Waser, Rainer )
• Auswirkungen unterschiedlicher CVD/CVS-Prozesspfade zur Herstellung Metall-oxidischer Nanokompositpartikeln auf deren katalytische Eigenschaften (Antragsteller Kasper, Gerhard ;  Muhler, Martin )
• Auswirkungen unterschiedlicher CVD/CVS-Prozeßpfade zur Herstellung Metall-oxidischer Nanokompositpartikeln auf deren katalytische Eigenschaften (Antragsteller Muhler, Martin )
• Chemische Gasphasenabscheidung dünner Silberschichten aus metallorganischen Precursoren (Antragsteller Burte, Edmund P. )
• Chemische Gasphasenabscheidung dünner Silberschichten aus metallorganischen Precursoren (Antragstellerin Kohse-Höinghaus, Katharina )
• Chemische Gasphasenabscheidung dünner Silberschichten aus metallorganischen Precursoren (Antragsteller Lang, Heinrich )
• CVD-Prozesse mit neuartigen metallorganischen Precursoren zur Herstellung von hoch-Epsilon Gatedielektrika und metallischen Gatelektroden zukünftiger CMOS-Generation (Antragsteller Ryssel, Heiner )
• CVD-Prozesse mit neuartigen metallorganischen Precursoren zur Herstellung von hoch-Epsilon Gatedielektrika und metallischen Gatelektroden zukünftiger CMOS-Generation (Antragsteller Herrmann, Wolfgang A. )
• CVS von nanokristallinen Metalloxid-Schichten mittels Pyrolyse von molekularen Metallsiloxiden (Antragsteller Kruis, Frank Einar )
• CVS von nanokristallinen Metalloxid-Schichten mittels Pyrolyse von molekularen Metallsiloxiden (Antragsteller Drieß, Matthias ;  Kruis, Frank Einar )
• Koordinatorfonds im Rahmen des Schwerpunktprogramms "Anorganische Materialien durch Gasphasensynthese: Interdisziplinäre Ansätze zu Entwicklung, Verständnis und Kontrolle von CVD-Verfahren" (Antragsteller Fischer, Roland A. )
• Maßgeschneiderte Metallkomplexe für die Darstellung von Metall- und Metalloxidfilmen (Antragstellerinnen / Antragsteller Popovska-Leipertz, Nadejda ;  Zenneck, Ulrich )
• Maßgeschneiderte Metallkomplexe für die Darstellung von Metall- und Metalloxidfilmen (Antragsteller Emig, Gerhard )
• Molekulare Mechanismen der Oberflächenreaktion von Palladium- und Zirkonpräkursoren auf wohldefinierten Oxidsubstraten (Antragsteller Wöll, Christof )
• MOVPE von Gruppe-III-Nitriden mit intramolekular koordinierten Prekursoren. Mechanistische Studien und Modellierung der Prozesse. (Antragsteller Müller, Jens )
• MOVPE von Gruppe-III-Nitriden mit intramolekular koordinierten Prekursoren. Mechanistische Studien und Modellierung der Prozesse. (Antragsteller Fischer, Roland A. )
• MOVPE von Gruppe-III-Nitriden mit intramolekular koordinierten Prekursoren. Mechanistische Studien und Modellierung der Prozesse. (Antragsteller Brenner, Gunther )
• MOVPE von Gruppe-III-Nitriden mit intramolekular koordinierten Prekursoren. Mechanistische Studien und Modellierung der Prozesse. (Antragsteller Brenner, Gunther ;  Schmid, Rochus )
• PACVD-Synthese und Charakterisierung von Si/(B)/C/N-Hartstoffschichten für tribologische Anwendungen (Antragsteller Kroke, Edwin )
• PACVD-Synthese und Charakterisierung von Si/(B)/C/N-Hartstoffschichten für tribologische Anwendungen (Antragsteller Stafast, Herbert )
• PACVD-Synthese und Charakterisierung von Si/(B)/C/N-Hartstoffschichten für tribologische Anwendungen (Antragsteller Kroll, Peter )
• Precursorchemie von HfN, TaN, WNx und ähnlichen Metallnitriden in MOCVD und ALD-Prozessen für Gate-Metallisierungs- und Diffusions-Grenzschichten für CMOS-Bauteile (Antragsteller Fischer, Roland A. )
• Synthese anorganischer Materialien über die Gasphase: Interdisziplinäre Ansätze zu Entwicklung, Verständnis und Kontrolle von CVD-Verfahren (Antragsteller Broszeit, Erhard )
• Synthese anorganischer Materialien über die Gasphase: Interdisziplinäre Ansätze zu Entwicklung, Verständnis und Kontrolle von CVD-Verfahren (Antragsteller Riedel, Ralf )
• Untersuchung der CVD-Reaktionen bei der Bildung von a-Al2O3 als Diffusionsbarriere auf Superlegierungen (Antragsteller Neuschütz, Dieter )
• Untersuchung der CVD-Reaktionen bei der Bildung von a-Al2O3 als Diffusionsbarriere auf Superlegierungen (Antragsteller Janicka, Johannes )
• Untersuchung der CVD-Reaktionen bei der Bildung von a-Al2O3 als Diffusionsbarriere auf Superlegierungen (Antragstellerin Kohse-Höinghaus, Katharina )
• Untersuchung der thermodynamischen Eigenschaften von CVD-Vorläufern (Antragsteller Atakan, Burak )

• Sprecher: Professor Dr. Roland A. Fischer