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Professor Dr.-Ing. Heiner Ryssel

Adresse Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
Department Elektrotechnik-Elektronik-Informationstechnik
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
Cauerstraße 6
91058 Erlangen

Projekte

Als Antragsteller
- abgeschlossene Projekte
  - Untersuchung des Aktivierungs- und Diffusionsverhaltens von Bor in polykristallinen SiGe-Gate-Elektroden für MOS-Transistoren (Sachbeihilfen)
  - Modellierung und Simulation der Diffusion von Aluminium in Silicium (Schwerpunktprogramme)
  - CVD-Prozesse mit neuartigen metallorganischen Precursoren zur Herstellung von hoch-Epsilon Gatedielektrika und metallischen Gatelektroden zukünftiger CMOS-Generation (Schwerpunktprogramme)
  - Distribution, Segregation and Dose-loss of Dopants in Deca-nanometer SOI Structures (Sachbeihilfen)
  - Räumliche Winkelverteilung von gesputterten und rückgestreuten Atomen bei der Ionenbestrahlung unter streifenden Winkeln (Sachbeihilfen)
  - Aufbau einer mit Reaktivgas gefüllten, hochgenauen Atomresonanzzelle mittels Ionenimplantation (Sachbeihilfen)
  - Experimentelle Bestimmung der thermodynamischen und kinetischen Eigenschaften von Gitterleerstellen in Silicium (Sachbeihilfen)
Als Teilprojektleiter
- abgeschlossene Projekte
  - Motorintegrierte Leistungselektronik: Strukturflexibel mechatronisch integrierbare passive elektronische Bauelemente (Sonderforschungsbereiche)
  - Integrierbare Bauelemente zur Erhöhung der Betriebssicherheit elektronischer Systemkomponenten im Automobil (Sonderforschungsbereiche)
Als Beteiligte Person
- abgeschlossene Projekte

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