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Person

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Professor Dr.-Ing. Edmund P. Burte

Adresse Technische Hochschule Wildau
Hochschulring 1
15745 Wildau

Projekte

Als Antragsteller
- abgeschlossene Projekte
  - Kurzzeit-Gasphasendotierung von Silizium (Sachbeihilfen)
  - Herstellung und Charakterisierung der ferroelektrischen Schichten Strontium-Bismut-Tantalat aus Ein- und Zweikomponenten-Precursoren (Sachbeihilfen)
  - Chemische Gasphasenabscheidung dünner Silberschichten aus metallorganischen Precursoren (Schwerpunktprogramme)
  - Metallorganische Gasphasenabscheidung von dünnen Germanium-Antimon-Tellurid-Schichten (Sachbeihilfen)
  - Herstellung und Charakterisierung von silberhaltigen dünnen Germanium-Selen Schichten (Sachbeihilfen)
  - Ruthenium-Nanostäbe als Bodenelektrode für dreidimensional aufgebaute Kondensatoren (Sachbeihilfen)
  - Herstellung ultraflacher pn-Übergänge in Silizium durch Kurzzeit-Diffusion aus einer durch Atomic Layer Deposition abgeschiedenen Dotierstoffquelle (Sachbeihilfen)
  - MOCVD von Strotium-Bismut-Tantalat / Bismut-Tantalat-Niobat - Schichten und ferroelektrische Speicherkondensatoren (Sachbeihilfen)
  - Entwurf, Optimierung, CMOS-kompatible Herstellung und Charakterisierung von abstimmbaren planaren/koplanaren DGS-Filtern (Sachbeihilfen)
  - Atomlagenabscheidung von Germanium-Antimon-Tellurid (Sachbeihilfen)
  - Chemische Gasphasenabscheidung von super-harten Ruthenium-Diborid-Schichten (Sachbeihilfen)
  - Kapazitive und ohmsche mikroelektromechanische Schalter mit Brückenstrukturen aus Federstahl, insbesondere für Hochfrequenzanwendungen (Sachbeihilfen)
  - Atomlagenabscheidung von Germanium-Antimon-Tellurid (Sachbeihilfen)
  - Dotierung von Ge und SiGe aus dotierstoffhaltigen mittels ALD erzeugten Schichten: Abscheidung – Flash-Lamp-Annealing – SIMS-Metrologie (Sachbeihilfen)

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