Technische Universität Dresden
Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM)

Adresse Nöthnitzer Straße 64
01187 Dresden
Deutschland

GERiT Diese Institution in GERiT

01187 Dresden

Projekte

Sachbeihilfen
- laufende Projekte
  - Modulations-Akzeptordotierung von SiO2 als neuartige Dotierungsmethode für Silicium Nanodrähte (MADSiNano)
    (Antragsteller Hiller, Daniel ; Mikolajick, Thomas )
  - Polymernetzwerke als Träger für Organokatalysatoren in kontinuierlich betriebenen mikrofluidischen Reaktorsystemen
    (Antragsteller Kuckling, Dirk )
  - Steuerbares Membransystem
    (Antragsteller Richter, Andreas ; Wallmersperger, Thomas )
  - Wurtzitische Mischkristalle als neue Materialklasse für ferroelektrische Mikroelektronik
    (Antragsteller Fichtner, Simon ; Mikolajick, Thomas )
- abgeschlossene Projekte
  - 3DFold - Programmierte Faltung mesoskopischer 3D Objekte durch viskoeelastische Rekonfiguration
    (Antragsteller Kirchner, Robert )
  - Einfluss von Kohlenstoff auf die elektrischen, optischen und strukturellen Eigenschaften von GaN
    (Antragsteller Mikolajick, Thomas )
  - Elektrochemische Präparation von Diffusionsbarrieren für Mehrmetallschichten und ihr Verhalten bei der Fremdmetalldiffusion
    (Antragsteller Drescher, Kurt )
  - Ferroelektrisches Hafniumoxid mit erhöhter Zuverlässigkeit
    (Antragsteller Mikolajick, Thomas )
  - Ferroelektrisches Zirkonoxid für piezo- und pyroelektrische Bauelemente (Zeppelin)
    (Antragsteller Böttger, Ulrich ; Kersch, Alfred ; Mikolajick, Thomas )
  - Fun2D+ | 3D funktionales mesoskopisches System basierend auf 2D Materialien
    (Antragsteller Albert, Matthias ; Kirchner, Robert )
  - Herstellung und Charakterisierung von Niobpentoxid-Schichten mit schaltbarer elektrischer Leitfähigkeit
    (Antragsteller Mikolajick, Thomas ; Rafaja, David )
  - Hochintegrierte Mikrofluidik-Prozessoren auf Basis intrinsisch aktiver Polymere
    (Antragsteller Richter, Andreas )
  - Hydrogelbasierte Mikrofluidik-Prozessoren
    (Antragsteller Richter, Andreas )
  - Impedanz- und elektroakustische Spektroskopie an keramischen Ultra- und Nanofiltrationsmembranen
    (Antragsteller Mikolajick, Thomas )
  - Inzipiente Ferroelektrika auf der Basis von Hafniumoxid
    (Antragsteller Böttger, Ulrich ; Kersch, Alfred ; Mikolajick, Thomas )
  - Konzeption quantenmechanischer Bauelemente mit ultra-dünnen funktionalen ALD-Schichten für den Einsatz in Terahertz-Anwendungen
    (Antragsteller Bartha, Johann-Wolfgang ; Wenger, Christian )
  - Lokal Aktive Memristive Daten Prozessierung (LAMP)
    (Antragsteller Mikolajick, Thomas ; Tetzlaff, Ronald )
  - Mikrostrukturierte Flüssigmetall-Ionenemitter-Chips: Untersuchung des Benetzungsverhaltens und der Betriebsstabilität von Flüssigmetall-Ionenquellen auf Basis von Glas-Substraten
    (Antragsteller Tajmar, Martin )
  - Neuartige Halbleitermaterialien mit großer Bandlücke zur Anwendung in der Optoelektronik und für die Grundlagemnforschung
    (Antragsteller Mikolajick, Thomas )
  - Optoelektronische Ansteuerung für hochintegrierte MEMS auf Polymerbasis
    (Antragsteller Richter, Andreas )
  - PARFAIT II: Leistungsgewahre ambipolare FPGA Architektur II
    (Antragsteller Becker, Jürgen ; Hofmann, Klaus ; Mikolajick, Thomas )
  - PlasCode - Plasmonische Codierung in intelligenten mesoskopischen Partikeln für deren dynamische Erfassung in Fluidströmen
    (Antragsteller Kirchner, Robert ; Zimmer, Klaus )
  - Schallquellen auf Basis von dielektrischen Elastomeren
    (Antragsteller Altinsoy, Ercan ; Richter, Andreas )
  - Spin-Wechselwirkung funktionalisiertes Graphen für resistiv-magnetische Speicher
    (Antragsteller Blügel, Stefan ; Mikolajick, Thomas )
  - Vertikale organische Transistoren für Hochfrequenzanwendungen und niedrige Betriebsspannungen
    (Antragsteller Bartha, Johann-Wolfgang ; Ellinger, Frank ; Leo, Karl )
Forschungsgruppen
- abgeschlossene Projekte
  - Bauteilintegrierte Sensorik und Risserkennung in CF-PEEK-Hochleistungsrotoren
    (Antragsteller Pfeifer, Günther )
  - Zentrale Organisation und Verwaltung
    (Antragsteller Hufenbach, Werner )
Schwerpunktprogramme
- laufende Projekte
  - Biomimetische Roboter mit autonomer Steuerung durch dielektrische Elastomere (BROADCAST)
    (Antragsteller Kraus, Tobias ; Marschner, Uwe ; Vorrath, Ernst-Friedrich Markus )
  - Cooperative elastomere Multiactuator-Plattform (CALMAR)
    (Antragsteller Maas, Jürgen ; Marschner, Uwe ; Richter, Andreas ; Vorrath, Ernst-Friedrich Markus )
  - Elastische Kupplungen mit integrierten flexiblen dielektrischen Elastomersensoren
    (Antragsteller Schlecht, Berthold ; Vorrath, Ernst-Friedrich Markus ; Wallmersperger, Thomas )
  - Neurotransistor-basiertes Memristives Crossbar-Memcomputing (NeuroMCross)
    (Antragsteller Mikolajick, Thomas ; Slesazeck, Stefan ; Tetzlaff, Ronald )
  - SecuReFET II: Sichere Schaltungen durch inhärent rekonfigurierbare Feldeffekttransistoren II
    (Antragsteller Kumar, Akash ; Mikolajick, Thomas )
- abgeschlossene Projekte
Heisenberg-Professuren
- abgeschlossene Projekte
  - Polymere Mikrosysteme
    (Antragsteller Richter, Andreas )
Heisenberg-Stipendien
- abgeschlossene Projekte
  - Integrierte und hochintegrierte mikrotechnische Systeme
    (Antragsteller Richter, Andreas )
  - M3SR: Mesoskopische 3D-Strukturbildung durch kontrollierte viskose Rekonfiguration
    (Antragsteller Kirchner, Robert )
Heisenberg-Förderung
- abgeschlossene Projekte
  - M3SR: Mesoskopische 3D-Strukturbildung durch kontrollierte viskose Rekonfiguration
    (Antragsteller Kirchner, Robert )
Sonderforschungsbereiche
- abgeschlossene Projekte
  - Adaption polymerer Schichten und Gele an Halbleiter- und Mikrostrukturen, Charakterisierung aktorischer und sensorischer Eigenschaften
    (Teilprojektleiter Drescher, Kurt )
  - Integrierte drahtlose Sensornetzwerke
    (Teilprojektleiter Fischer, Wolf-Joachim ; Starke, Eric )
  - Phasen- und Strukturbildungsphänomene in Metall-Perowskit-Schichtsystemen
    (Teilprojektleiter Bartha, Johann-Wolfgang ; Schönecker, Andreas )
  - Polymere als Zwischenebenenisolatoren in Mehrebenenmetallisierungssystemen
    (Teilprojektleiter Meusel, Ekkehard ; Wenzel, Christian )
  - Reaktions- und Diffusions-Phänomene in Cu-WTi-SiO2-Schichtsystemen
    (Teilprojektleiter Drescher, Kurt )
  - Reaktive Schichten auf der Basis leitfähiger Polymere und deren Anwendung
    (Teilprojektleiterinnen / Teilprojektleiter Dunsch, Lothar ; Fischer, Wolf-Joachim ; Plieth, Waldfried ; Rammelt, Ursula )
  - Reaktive Silane und Thiole zur Herstellung von Self-Assembly-Schichten, deren Strukturierung und Applikation in der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik
    (Teilprojektleiter Drescher, Kurt )
Forschungsgroßgeräte
- abgeschlossene Projekte
Emmy Noether-Nachwuchsgruppen
- laufende Projekte
  - Multifunktionale dielektrische Elastomer-Elektronik für nachgiebige Roboter der nächsten Generation
    (Antragsteller Vorrath, Ernst-Friedrich Markus )
Transregios
- laufende Projekte
  - 3D-Prozessarchitekturen und Prozesse
    (Teilprojektleiter Lemme, Max Christian ; Mikolajick, Thomas )
  - TRR 404: Zukunftsweisende Elektronik durch aktive Bauelemente in drei Dimensionen (Active-3D)
    (Sprecher Mikolajick, Thomas )
  - Zentralprojekt
    (Teilprojektleiter Mikolajick, Thomas )
- abgeschlossene Projekte
  - Großserienfähige Fertigungstechnologien für Glasfaser-Polyurethan- Verbundstrukturen mit integrierten piezokeramischen Sensorelementen und angepasster Auswerteelektronik
    (Teilprojektleiter Fischer, Wolf-Joachim ; Gude, Maik )
Graduiertenkollegs
- laufende Projekte
  - GRK 2767: Suprakolloidale Strukturen: Von Materialien zu optischen und elektronischen Bauteilen
    (Sprecher Fery, Andreas )
- abgeschlossene Projekte
Exzellenzcluster
- abgeschlossene Projekte
  - EXC 1056: Zentrum für Perspektiven in der Elektronik Dresden
    (Sprecher Fettweis, Gerhard P. )