Technische Universität Dresden
Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM)
Adresse
Nöthnitzer Straße 64
01187 Dresden
Deutschland
GERiT
Diese Institution in GERiT
01187 Dresden
Projekte
Sachbeihilfen
laufende Projekte
Modulations-Akzeptordotierung von SiO2 als neuartige Dotierungsmethode für Silicium Nanodrähte (MADSiNano)
(Antragsteller
Hiller, Daniel
;
Mikolajick, Thomas
)
Polymernetzwerke als Träger für Organokatalysatoren in kontinuierlich betriebenen mikrofluidischen Reaktorsystemen
(Antragsteller
Kuckling, Dirk
)
Steuerbares Membransystem
(Antragsteller
Richter, Andreas
;
Wallmersperger, Thomas
)
Wurtzitische Mischkristalle als neue Materialklasse für ferroelektrische Mikroelektronik
(Antragsteller
Fichtner, Simon
;
Mikolajick, Thomas
)
abgeschlossene Projekte
3DFold - Programmierte Faltung mesoskopischer 3D Objekte durch viskoeelastische Rekonfiguration
(Antragsteller
Kirchner, Robert
)
Einfluss von Kohlenstoff auf die elektrischen, optischen und strukturellen Eigenschaften von GaN
(Antragsteller
Mikolajick, Thomas
)
Elektrochemische Präparation von Diffusionsbarrieren für Mehrmetallschichten und ihr Verhalten bei der Fremdmetalldiffusion
(Antragsteller
Drescher, Kurt
)
Ferroelektrisches Hafniumoxid mit erhöhter Zuverlässigkeit
(Antragsteller
Mikolajick, Thomas
)
Ferroelektrisches Zirkonoxid für piezo- und pyroelektrische Bauelemente (Zeppelin)
(Antragsteller
Böttger, Ulrich
;
Kersch, Alfred
;
Mikolajick, Thomas
)
Fun2D+ | 3D funktionales mesoskopisches System basierend auf 2D Materialien
(Antragsteller
Albert, Matthias
;
Kirchner, Robert
)
Herstellung und Charakterisierung von Niobpentoxid-Schichten mit schaltbarer elektrischer Leitfähigkeit
(Antragsteller
Mikolajick, Thomas
;
Rafaja, David
)
Hochintegrierte Mikrofluidik-Prozessoren auf Basis intrinsisch aktiver Polymere
(Antragsteller
Richter, Andreas
)
Hydrogelbasierte Mikrofluidik-Prozessoren
(Antragsteller
Richter, Andreas
)
Impedanz- und elektroakustische Spektroskopie an keramischen Ultra- und Nanofiltrationsmembranen
(Antragsteller
Mikolajick, Thomas
)
Inzipiente Ferroelektrika auf der Basis von Hafniumoxid
(Antragsteller
Böttger, Ulrich
;
Kersch, Alfred
;
Mikolajick, Thomas
)
Konzeption quantenmechanischer Bauelemente mit ultra-dünnen funktionalen ALD-Schichten für den Einsatz in Terahertz-Anwendungen
(Antragsteller
Bartha, Johann-Wolfgang
;
Wenger, Christian
)
Lokal Aktive Memristive Daten Prozessierung (LAMP)
(Antragsteller
Mikolajick, Thomas
;
Tetzlaff, Ronald
)
Mikrostrukturierte Flüssigmetall-Ionenemitter-Chips: Untersuchung des Benetzungsverhaltens und der Betriebsstabilität von Flüssigmetall-Ionenquellen auf Basis von Glas-Substraten
(Antragsteller
Tajmar, Martin
)
Neuartige Halbleitermaterialien mit großer Bandlücke zur Anwendung in der Optoelektronik und für die Grundlagemnforschung
(Antragsteller
Mikolajick, Thomas
)
Optoelektronische Ansteuerung für hochintegrierte MEMS auf Polymerbasis
(Antragsteller
Richter, Andreas
)
PARFAIT II: Leistungsgewahre ambipolare FPGA Architektur II
(Antragsteller
Becker, Jürgen
;
Hofmann, Klaus
;
Mikolajick, Thomas
)
PlasCode - Plasmonische Codierung in intelligenten mesoskopischen Partikeln für deren dynamische Erfassung in Fluidströmen
(Antragsteller
Kirchner, Robert
;
Zimmer, Klaus
)
Schallquellen auf Basis von dielektrischen Elastomeren
(Antragsteller
Altinsoy, Ercan
;
Richter, Andreas
)
Spin-Wechselwirkung funktionalisiertes Graphen für resistiv-magnetische Speicher
(Antragsteller
Blügel, Stefan
;
Mikolajick, Thomas
)
Vertikale organische Transistoren für Hochfrequenzanwendungen und niedrige Betriebsspannungen
(Antragsteller
Bartha, Johann-Wolfgang
;
Ellinger, Frank
;
Leo, Karl
)
Forschungsgruppen
abgeschlossene Projekte
Bauteilintegrierte Sensorik und Risserkennung in CF-PEEK-Hochleistungsrotoren
(Antragsteller
Pfeifer, Günther
)
Zentrale Organisation und Verwaltung
(Antragsteller
Hufenbach, Werner
)
Schwerpunktprogramme
laufende Projekte
Biomimetische Roboter mit autonomer Steuerung durch dielektrische Elastomere (BROADCAST)
(Antragsteller
Kraus, Tobias
;
Marschner, Uwe
;
Vorrath, Ernst-Friedrich Markus
)
Cooperative elastomere Multiactuator-Plattform (CALMAR)
(Antragsteller
Maas, Jürgen
;
Marschner, Uwe
;
Richter, Andreas
;
Vorrath, Ernst-Friedrich Markus
)
Elastische Kupplungen mit integrierten flexiblen dielektrischen Elastomersensoren
(Antragsteller
Schlecht, Berthold
;
Vorrath, Ernst-Friedrich Markus
;
Wallmersperger, Thomas
)
Neurotransistor-basiertes Memristives Crossbar-Memcomputing (NeuroMCross)
(Antragsteller
Mikolajick, Thomas
;
Slesazeck, Stefan
;
Tetzlaff, Ronald
)
SecuReFET II: Sichere Schaltungen durch inhärent rekonfigurierbare Feldeffekttransistoren II
(Antragsteller
Kumar, Akash
;
Mikolajick, Thomas
)
abgeschlossene Projekte
Entwicklung organischer Feldeffekttransistoren auf flexiblen Schaltungsträgern auf Basis von Thiophenderivate
(Antragsteller
Fischer, Wolf-Joachim
)
Flexibler Graphen-basierter Heteroübergangstransistor mit Arbeitsfrequenzen von mehreren hundert Gigahertz
(Antragsteller
Bartha, Johann-Wolfgang
;
Wenger, Christian
)
Hochfrequenz-Modellierung und -Charakterisierung gedruckter organischer kristalliner Transistoren
(Antragsteller
Mannsfeld, Stefan
;
Schröter, Michael
)
Konzepte für elektrokalorische Multischicht-Kühlelemente
(Antragsteller
Gerlach, Gerald
)
Rekonfigurierbare Logik und Multi-Bit in-Memory Prozessierung mit ferroelektrischen Memristoren - ReLoFeMris
(Antragsteller
Fey, Dietmar
;
Slesazeck, Stefan
)
Heisenberg-Professuren
abgeschlossene Projekte
Polymere Mikrosysteme
(Antragsteller
Richter, Andreas
)
Heisenberg-Stipendien
abgeschlossene Projekte
Integrierte und hochintegrierte mikrotechnische Systeme
(Antragsteller
Richter, Andreas
)
M3SR: Mesoskopische 3D-Strukturbildung durch kontrollierte viskose Rekonfiguration
(Antragsteller
Kirchner, Robert
)
Heisenberg-Förderung
abgeschlossene Projekte
M3SR: Mesoskopische 3D-Strukturbildung durch kontrollierte viskose Rekonfiguration
(Antragsteller
Kirchner, Robert
)
Sonderforschungsbereiche
abgeschlossene Projekte
Adaption polymerer Schichten und Gele an Halbleiter- und Mikrostrukturen, Charakterisierung aktorischer und sensorischer Eigenschaften
(Teilprojektleiter
Drescher, Kurt
)
Integrierte drahtlose Sensornetzwerke
(Teilprojektleiter
Fischer, Wolf-Joachim
;
Starke, Eric
)
Phasen- und Strukturbildungsphänomene in Metall-Perowskit-Schichtsystemen
(Teilprojektleiter
Bartha, Johann-Wolfgang
;
Schönecker, Andreas
)
Polymere als Zwischenebenenisolatoren in Mehrebenenmetallisierungssystemen
(Teilprojektleiter
Meusel, Ekkehard
;
Wenzel, Christian
)
Reaktions- und Diffusions-Phänomene in Cu-WTi-SiO2-Schichtsystemen
(Teilprojektleiter
Drescher, Kurt
)
Reaktive Schichten auf der Basis leitfähiger Polymere und deren Anwendung
(Teilprojektleiterinnen / Teilprojektleiter
Dunsch, Lothar
;
Fischer, Wolf-Joachim
;
Plieth, Waldfried
;
Rammelt, Ursula
)
Reaktive Silane und Thiole zur Herstellung von Self-Assembly-Schichten, deren Strukturierung und Applikation in der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik
(Teilprojektleiter
Drescher, Kurt
)
Forschungsgroßgeräte
abgeschlossene Projekte
Laserablationssystem
Mehrkanal-Lösungs-Druck-System
Rasterelektronenmikroskop
Emmy Noether-Nachwuchsgruppen
laufende Projekte
Multifunktionale dielektrische Elastomer-Elektronik für nachgiebige Roboter der nächsten Generation
(Antragsteller
Vorrath, Ernst-Friedrich Markus
)
Transregios
laufende Projekte
3D-Prozessarchitekturen und Prozesse
(Teilprojektleiter
Lemme, Max Christian
;
Mikolajick, Thomas
)
TRR 404: Zukunftsweisende Elektronik durch aktive Bauelemente in drei Dimensionen (Active-3D)
(Sprecher
Mikolajick, Thomas
)
Zentralprojekt
(Teilprojektleiter
Mikolajick, Thomas
)
abgeschlossene Projekte
Großserienfähige Fertigungstechnologien für Glasfaser-Polyurethan- Verbundstrukturen mit integrierten piezokeramischen Sensorelementen und angepasster Auswerteelektronik
(Teilprojektleiter
Fischer, Wolf-Joachim
;
Gude, Maik
)
Graduiertenkollegs
laufende Projekte
GRK 2767: Suprakolloidale Strukturen: Von Materialien zu optischen und elektronischen Bauteilen
(Sprecher
Fery, Andreas
)
abgeschlossene Projekte
GRK 51: Sensorik (Sensoren und Sensorsysteme für mechanische Größen sowie Strahlung im sichtbaren und unsichtbaren Spektralgebiet, elektrochemische Sensoren)
(Sprecher
Gerlach, Gerald
)
GRK 1401: Nano- und Biotechniken für das Packaging elektronischer Systeme
(Sprecher
Gerlach, Gerald
)
GRK 1865: Hydrogel-basierte Mikrosysteme
(Sprecher
Gerlach, Gerald
)
Exzellenzcluster
abgeschlossene Projekte
EXC 1056: Zentrum für Perspektiven in der Elektronik Dresden
(Sprecher
Fettweis, Gerhard P.
)