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Person

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Dr. Christian Wenzel

Adresse Technische Universität Dresden
Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM)
Nöthnitzer Straße 64
01187 Dresden

Projekte

Als Teilprojektleiter
- abgeschlossene Projekte
  - Polymere als Zwischenebenenisolatoren in Mehrebenenmetallisierungssystemen (Sonderforschungsbereiche)
Als Beteiligte Person
- abgeschlossene Projekte
  - Elektrochemische Präparation von Diffusionsbarrieren für Mehrmetallschichten und ihr Verhalten bei der Fremdmetalldiffusion (Sachbeihilfen)
  - Mikrostrukturierte Flüssigmetall-Ionenemitter-Chips: Untersuchung des Benetzungsverhaltens und der Betriebsstabilität von Flüssigmetall-Ionenquellen auf Basis von Glas-Substraten (Sachbeihilfen)

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