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Person

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Professor Dr.-Ing. Kurt Drescher

Adresse Technische Universität Dresden
Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM)
Nöthnitzer Straße 64
01187 Dresden

Projekte

Als Antragsteller
- abgeschlossene Projekte
  - Elektrochemische Präparation von Diffusionsbarrieren für Mehrmetallschichten und ihr Verhalten bei der Fremdmetalldiffusion (Sachbeihilfen)
Als Teilprojektleiter
- abgeschlossene Projekte
  - Reaktive Silane und Thiole zur Herstellung von Self-Assembly-Schichten, deren Strukturierung und Applikation in der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik (Sonderforschungsbereiche)
  - Adaption polymerer Schichten und Gele an Halbleiter- und Mikrostrukturen, Charakterisierung aktorischer und sensorischer Eigenschaften (Sonderforschungsbereiche)
  - Reaktions- und Diffusions-Phänomene in Cu-WTi-SiO2-Schichtsystemen (Sonderforschungsbereiche)

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