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Institution

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Ruhr-Universität Bochum
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik

Adresse Universitätsstraße 150
44801 Bochum
Deutschland

GERiT Diese Institution in GERiT

44801 Bochum

Projekte

Forschungsgruppen
- abgeschlossene Projekte
  - FOR 1522: Multiphysikalische Synthese und Integration komplexer Hochfrequenz-Schaltungen - MUSIK
    (Sprecher Hein, Matthias )
  - HF-MEMS-Bauelemente, M-Systeme und Hybridintegration
    (Antragsteller Hoffmann, Martin )
Sachbeihilfen
- abgeschlossene Projekte
  - Grundlagen für ballistische Elektronik in Graphen
    (Antragsteller Baus, Matthias ; Kurz, Heinrich ; Seyller, Thomas )
  - Grundlagen für ballistische Elektronik in Graphen
    (Antragsteller Kunze, Ulrich )
  - Silicium-Volumenmikromechanik für faseroptische Schalter und Dämpfungsglieder
    (Antragsteller Voges, Edgar )
Forschungsgroßgeräte
- abgeschlossene Projekte
Sonderforschungsbereiche
- abgeschlossene Projekte
  - Integration einer Multifunktionalen Nanoanalytik
    (Teilprojektleiter Hoffmann, Martin )
  - Nanotools für NPM-Maschinen
    (Teilprojektleiter Hoffmann, Martin ; Sinzinger, Stefan )
Schwerpunktprogramme
- laufende Projekte
  - ADOPT - Adaptive THz Optik
    (Antragstellerinnen / Antragsteller Ament, Christoph ; Bechtold, Tamara ; Hoffmann, Martin ; Wallrabe, Ulrike )
  - Räumliche Positionierung und funktionelle Manipulation von tropfenbasierten Systemen
    (Antragsteller Ament, Christoph ; Hoffmann, Martin )
- abgeschlossene Projekte
  - Flexible Hochgeschwindigkeits-Dünnfilmtransistoren und -Schaltungen basierend auf großflächig hergestellten zweidimensionalen Übergangsmetall-Dichalkogenide
    (Antragstellerinnen Bock, Claudia ; Devi, Anjana )
  - Realisierung eines integrierten Mikroauges aus elektrisch verstimmbaren Membran-Mikrolinsen und -prismen sowie variablen Blenden und Filtern.
    (Antragsteller Ambacher, Oliver ; Hoffmann, Martin ; Oesterschulze, Egbert ; Sinzinger, Stefan )
Transregios
- laufende Projekte
  - Passive Strahlablenkung mit Wellenleiter-Arrays / strahlsteuernde Wellenleiter-Arrays
    (Teilprojektleiter Hoffmann, Martin )
Gerätezentren
- abgeschlossene Projekte
  - Gerätezentrum Mikro-Nano-Integration
    (Antragsteller Hoffmann, Martin ; Müller, Jens ; Schaaf, Peter )
  - Gerätezentrum Mikro-Nano-Integration - Fortsetzungsantrag
    (Antragsteller Hoffmann, Martin ; Müller, Jens ; Schaaf, Peter )

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