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Person
Professor Dr.-Ing. Jens Müller
Adresse
Technische Universität Ilmenau
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Institut für Mikro- und Nanoelektronik
Postfach 10 05 65
98684 Ilmenau
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Als Antragsteller
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laufende Projekte
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abgeschlossene Projekte
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Gerätezentrum Mikro-Nano-Integration (Gerätezentren)
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SiCer-Technologie für HF-MEMS (Forschungsgruppen)
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Gerätezentrum Mikro-Nano-Integration - Fortsetzungsantrag (Gerätezentren)
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laufende Projekte
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Als Leiter
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abgeschlossene Projekte
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3D-Pikosekunden-Laserablationsanlage (Forschungsgroßgeräte)
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abgeschlossene Projekte
