Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie (ISIT)
Adresse
Fraunhoferstraße 1
25524 Itzehoe
Deutschland
GERiT
Diese Institution in GERiT
25524 Itzehoe
Projekte
Schwerpunktprogramme
abgeschlossene Projekte
Randabschluß und Sperreigenschaften des MOS-gesteuerten, bidirektionalen Schalters, MBS
(Antragsteller
Sittig, Roland
)
Randabschluß und Sperreigenschaften des MOS-gesteuerten, bidirektionalen Schalters, MBS
(Antragsteller
Heuberger, Anton
)
Silizium-Hochratenätzen zur Herstellung tiefer Trenches für Super-Junction-Strukturen in der Hochvolt-PowerMOS Anwendung
(Antragsteller
Heuberger, Anton
)
Sachbeihilfen
abgeschlossene Projekte
Frequenzmodulierte magnetoelektrische Sensorsysteme zur Messung breitbandiger, niederfrequenter biomagnetischer Felder
(Antragsteller
Frey, Norbert
;
Höft, Michael
;
Stephani, Ulrich
;
Wagner, Bernhard
)
Mikro-Auge basierend auf Glasoptiken und durchstimmbaren Dünnschichtfiltern herstellbar in waferbasierter Fertigung
(Antragstellerinnen / Antragsteller
Gerken, Martina
;
Wagner, Bernhard
)
Projekt P9: Resonante magnetoelektrische Sensorsysteme zur Messung der tiefen Hirnstimulation
(Antragsteller
Deuschl, Günther
;
Höft, Michael
;
Wagner, Bernhard
)
Sensorsysteme auf Basis des DeltaE-Effekts
(Antragsteller
Faupel, Franz
;
Wagner, Bernhard
)
Untersuchung und Optimierung der magnetoelastischen und der Hochfrequenzeigenschaften von weichmagnetischen Dünnschichten am Beispiel induktiver Mikrobauelemente
(Antragsteller
Gatzen, Hans-Heinrich
)
Sonderforschungsbereiche
laufende Projekte
Herstellung magnetoelektrischer MEMS Sensoren
(Teilprojektleiter
Gojdka, Björn
;
Lofink, Fabian
;
Meyners, Dirk
;
Niekiel, Florian
)
Magnetoelektrische 3D-Kartierung in der Gastrointestinaldiagnostik
(Teilprojektleiter
Ellrichmann, Mark
;
Lofink, Fabian
)
Oberflächenwellenmagnetfeldsensoren
(Teilprojektleiter
Lofink, Fabian
;
Quandt, Eckhard
)
SFB 1261: Magnetoelektrische Sensoren: von Kompositmaterialien zu biomagnetischer Diagnose
(Sprecher
Quandt, Eckhard
;
Schmidt, Gerhard
)
abgeschlossene Projekte
Magnetoelektrische 1-3 Komposite
(Teilprojektleiter
Föll, Helmut
;
Wagner, Bernhard
)
NEMS/MEMS-Herstellung von Sensoren und Sensorarrays
(Teilprojektleiter
Quandt, Eckhard
;
Wagner, Bernhard
)
Resonante magnetoelektrische Sensoren
(Teilprojektleiter
Quandt, Eckhard
;
Wagner, Bernhard
)
SFB 855: Magnetoelektrische Verbundwerkstoffe - biomagnetische Schnittstellen der Zukunft
(Sprecher
Quandt, Eckhard
)
Untergeordnete Institutionen
Geschäftsfeld MEMS-Anwendungen