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Person

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Professor Dr. Anton Heuberger

Adresse Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie (ISIT)
Fraunhoferstraße 1
25524 Itzehoe

Projekte

Als Antragsteller
- abgeschlossene Projekte
  - Randabschluß und Sperreigenschaften des MOS-gesteuerten, bidirektionalen Schalters, MBS (Schwerpunktprogramme)
  - Silizium-Hochratenätzen zur Herstellung tiefer Trenches für Super-Junction-Strukturen in der Hochvolt-PowerMOS Anwendung (Schwerpunktprogramme)
Als Beteiligte Person
- abgeschlossene Projekte
  - Untersuchung und Optimierung der magnetoelastischen und der Hochfrequenzeigenschaften von weichmagnetischen Dünnschichten am Beispiel induktiver Mikrobauelemente (Sachbeihilfen)
  - Randabschluß und Sperreigenschaften des MOS-gesteuerten, bidirektionalen Schalters, MBS (Schwerpunktprogramme)

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