Oberflächenwellenmagnetfeldsensoren (A09)

• Fachliche Zuordnung: Herstellung und Eigenschaften von Funktionsmaterialien ; Mikrosysteme
• Förderung: Förderung seit 2021
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 286471992

Das Forschungsprojekt befasst sich mit der Erforschung von akustischen Oberflächenwellen (SAW) als Magnetfeldsensoren. Es werden zwei Typen zur Verbesserung der Sensoreigenschaften untersucht: SC SAW-Sensoren mit piezoelektrischen Einkristallen und Dünnfilm-SAW-Sensoren mit einer piezoelektrischen AlScN-Schicht. Für die SC SAW soll LiNbO3 als Substrat systematisch untersucht werden, was eine große Bandbreite an Variationen bei Betriebsfrequenz und Design ermöglicht. Bei den Dünnfilm-SAW-Sensoren liegt der Schwerpunkt auf der Verbesserung der Empfindlichkeit durch phononische Kristalle, der Verringerung der Substratverluste und der Erforschung des Wachstums von AlScN-Schichten mit geneigter c-Achse auf Saphir.

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche
• Teilprojekt zu: SFB 1261: Magnetoelektrische Sensoren: von Kompositmaterialien zu biomagnetischer Diagnose
• Antragstellende Institution: Christian-Albrechts-Universität zu Kiel
• Teilprojektleiter: Professor Dr. Fabian Lofink; Professor Dr.-Ing. Eckhard Quandt