SPP 1012:  Mikromechanische Produktionstechnik

• Subject Area: Mechanical and Industrial Engineering
• Term: from 1996 to 2002
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5467196

The mass production of micromechanical parts is nowadays dominated by semiconductor industry. Mainly lithography and etching are used but often cannot fulfill the demands with regard to the serial production of threedimensional structures with only small and middle quantity. Conventional manufacturing processes have the potential to produce high quality parts in a simple, flexible and inexpensive way. This can be done for work pieces smaller than a cubic millimeter or a surface structure within micrometer scale. The target of the priority programme is to support research, development and implementation of these conventional processes and systems for micro mechanical technologies. In doing so the focus lies on both the process itself and the linked machine technology to solve different fundamental problems. The need for research is especially identified for forming, cutting and coating. Because of this different methods are supported like injection molding and conventional processes like cutting, milling, drilling, and grinding. In addition stock removal with laser or EDM as well as selective coating with lasers are within the focus of the programme. Due to the high complexity an intensive collaboration between partners of different research expertises is inevitable.

• DFG Programme: Priority Programmes

Projects

• 3D-Mikrostrukturierung mit ultraschallangeregten Werkzeugen (Applicant Brinksmeier, Ekkard )
• Analysis of different plastification concepts for micro injection moulding (Applicant Michaeli, Walter )
• Anwendungsbezogene Eigenschaften dreidimensionaler mit Festkörperlaserstrahlung erzeugter Hartkeramik-Strukturen (Applicant Kreutz, Ernst Wolfgang )
• Bearbeitungsverfahren von weichen Funktionsmaterialien zur Herstellung diagnostischer und therapeutischer Mikrobauteile in der Medizin (Applicant Gillner, Arnold )
• Bearbeitungsverfahren von weichen Funktionsmaterialien zur Herstellung diagnostischer und therapeutischer Mikrobauteile in der Medizin (Applicant Richter, Horst A. )
• Contour boring and contour grinding with diamond tools for fabrication of microlens arrays (Applicant Brinksmeier, Ekkard )
• Dreidimensionaler Laserstrahl-Formabtrag von Stählen und Hartmetallen für den Einsatz in der Mikrospritzgießtechnik zur Herstellung von Mikrokomponenten aus Kunststoff, Metall und Keramik (Applicant Pfleging, Wilhelm )
• Einfließen von Polymerschmelzen in kleine Kavitäten beim Spritzgießen mit induktiver Werkzeugtemperierung (Applicant Schinköthe, Wolfgang )
• Einfließen von Polymerschmelzen in kleine Kavitäten beim Spritzgießen mit induktiver Werkzeugtemperierung (Applicant Ehrfeld, Wolfgang )
• Entwicklung einer Bearbeitungsmaschine zur Strukturierung von Werkstoffen der Mikro- und Feinwerktechnik durch spanendes Abtragen mit einem hochfrequent rotierenden und axial oszillierenden Werkzeug (Applicant Kiesewetter, Lothar )
• Entwicklung eines funkenerosiven Bearbeitungszentrums für die Mikrotechnik (Applicant Uhlmann, Eckart )
• Entwicklung eines funkenerosiven Bearbeitungszentrums für die Mikrotechnik (Applicant Spur, Günter )
• Entwicklung eines Produktionsverfahrens zur handhabungs-, lager- und montagegerechten Fertigung von Mikrostrukturbauteilen mittels Plastik-Wafer-Technologie (PWT) auf der Basis des 2-Komponenten-Spritzgießens (Applicant Ehrfeld, Wolfgang )
• Entwicklung funkenerosiver Verfahren zur Strukturierung von Mikrosystemen (Applicant Ehrfeld, Wolfgang )
• Entwicklung mikrostrukturierter Werkzeuge zum duktilen Fräsen optischer Gläser (Applicant Brinksmeier, Ekkard )
• Erzeugung keramischer Strukturen durch Laserpyrolyse von Polysilazan (Applicant Motz, Günter )
• Fertigung von 3D-Mikrokomponenten durch formangepaßten Abtrag mittels UV-Laserstrahlung (Applicant von Alvensleben, Ferdinand )
• Fertigung von keramischen Mikroschwingungssensoren durch Profilschleifen und Lasermaterialabtrag (Applicant von Alvensleben, Ferdinand )
• Fertigung von keramischen Mikroschwingungssensoren durch Profilschleifen und Lasermaterialabtrag (Applicant Gatzen, Hans-Heinrich )
• Functional surface structuring of biomedical micro parts with laser radiation (Applicant Gillner, Arnold )
• Generation of ceramic structures by laser pyrolysis of polysilazane (Applicant Otto, Andreas )
• Grundlegende Untersuchungen zur Erarbeitung von Verbindungstechniken miniaturisierter Bauteile aus Formgedächtnislegierungen durch Abtragen mittels Laserenergie (Applicant Haferkamp, Heinz )
• Herstellung dreidimensionaler Mikrostrukturen mittels Festkörperlaserstrahlung (Applicant Kreutz, Ernst Wolfgang )
• Injection moulding of partially plastic preforms for the electroforming of 3D-microstructures (Applicant Piotter, Volker )
• Lasergestützte Hochgeschwindigkeitsbearbeitung für die Kleinserienherstellung von 3D-Mikrobauteilen (Applicant Sepold, Gerd )
• Maschinenentwicklung zur spanenden Herstellung von Mikrostrukturen (Applicant Weck, Manfred )
• Metall-Kapillardruck-Feingießen mikromechanischer Bauteile (Applicant Möhwald, Kai )
• Metall-Kapillardruck-Feingießen mikromechanischer Bauteile (Applicant Gatzen, Hans-Heinrich )
• Micro cutting of metallic composites (Applicant Uhlmann, Eckart )
• Micro-structured glass devices made by embossing (Applicant Hülsenberg, Dagmar )
• Mikrobearbeitung sprödharter Werkstoffe mittels duktilem Trenn- und Profilschleifen (Applicant Gatzen, Hans-Heinrich )
• Mikrobearbeitung von Werkzeugbaustoffen durch funkenerosives Schneiden mit Feindrähten (Applicant Klocke, Fritz )
• Mikrofunkenerosion in Silizium und Abformung in Kunststoff (Applicant Neyer, Andreas )
• Mikroschleifen zur schnellen und flexiblen Strukturierung mikromechanischer Bauteile (Applicant Hoffmeister, Hans-Werner )
• Mikrostrukturieren von Bauteilen aus Formgedächtnislegierungen für die minimal-invasive Chirurgie mittels ultrakurzer Laserpulse (Applicant Haferkamp, Heinz )
• Minimierung der Rauheit beim Mikroumfangsfräsen durch Analyse der Einflußgrößen auf die Mindestspanungsdicke (Applicant Spath, Dieter )
• Minimierung der Rauheit beim Mikroumfangsfräsen durch Analyse der Einflußgrößen auf die Mindestspanungsdicke (Applicant Schulze, Volker )
• Numerische Modellierung des mikromechanischen Trennvorganges für Verfahren mit geometrisch bestimmter Schneide (Applicant Leopold, Jürgen )
• Optimierung des Werkstoffzustands von Stählen für Mikrofräsbearbeitungen - Prozeßsicherheit, Randschichtzustand und Bauteileigenschaften (Applicant Schulze, Volker )
• Prozeßuntersuchung des Spritzgießens von Mikrostrukturen (Applicant Michaeli, Walter )
• Pulvermetallurgisches Urformen intermetallischer Mikrobauteile (Applicant Möhwald, Kai )
• Qualifizierung des Excimerlaserstrahlabtragens unter Wasser für die Herstellung von mikrosystemtechnischen Komponenten (Applicant Geiger, Manfred )
• Schnelle und flexible Mikrostrukturierung von hochfesten Stählen durch Mikroschleifen mit cBN (Applicant Hoffmeister, Hans-Werner )
• Schwingungsunterstützte spanende Herstellung von Mikrobauteilen aus Glas und Keramik mit geometrisch bestimmter Schneide (Applicant Klocke, Fritz )
• Spanende Fertigung von Mikrostrukturen mit hohem Aspektverhältnis durch Verfahren mit unterbrochenem Schnitt (Applicant Spath, Dieter )
• Spritzgießen von Mikrostrukturen (Applicant Haußelt, Jürgen )
• Technologische Grundlagen der mikromechanischen Fräsbearbeitung mit Schaftwerkzeugen (Applicant Weinert, Klaus D. )
• Untersuchungen zur Fertigung ganzheitlich dreidimensionaler Mikrokomponenten mit gepulster UV-Laserstrahlung (Applicant Ostendorf, Andreas )
• Untersuchungen zur integralen Fertigung dreidimensionaler Mikro-Funktionsbauteile (Applicant Tönshoff, Hans-Kurt )

• Spokesperson: Professor Dr.-Ing. Manfred Weck