Fertigung von keramischen Mikroschwingungssensoren durch Profilschleifen und Lasermaterialabtrag

• Antragsteller: Professor Dr.-Ing. Hans-Heinrich Gatzen
• Fachliche Zuordnung: Produktionstechnik
• Förderung: Förderung von 1996 bis 2001
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5276528

Spanende Präzisionsbearbeitungsverfahren kommen in zunehmendem Maße bei der Fertigung von Mikrobauteilen aus Keramik und Silizium zum Einsatz. Dabei treten neben die rein spanend hergestellten Mikrobauteile in verstärktem Maße hybride Bauteile, die neben Dünnfilmstrukturen auch mechanisch mikrobearbeitete Funktionsflächen aufweisen. Vor diesem Hintergrund ist die Erforschung der Möglichkeiten bei der Herstellung von Bauteilen mit hohen Aspektverhältnissen, wie sie bei der Fertigung von keramischen Mikroschwingsensoren erforscht werden, von hervorragender Bedeutung. Im letzten Antragszeitraum steht die Herstellung von Strukturen mit hohem Aspektverhältnis aus Werkstoff-Sandwichstrukturen im Vordergrund. Dabei wird als Werkstoffolge Keramik-Glas-Keramik gewählt. Die wissenschaftliche Bedeutung liegt insbesondere darin, wie sich schmale Stege von Werkstoffen mit beträchtlichen Unterschieden im Spanverhalten weitgehend duktil bearbeiten lassen.

• DFG-Verfahren: Schwerpunktprogramme
• Teilprojekt zu: SPP 1012: Mikromechanische Produktionstechnik