3D-Mikrokalibrierstrukturen und Referenzflächen zur quantitativen Analyse der Topographie von mikrostrukturierten Membranen

• Antragsteller: Dr. Ludger Koenders
• Fachliche Zuordnung: Mikrosysteme
• Förderung: Förderung von 2004 bis 2007
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5436818

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Schwerpunktprogramme
• Teilprojekt zu: SPP 1159: Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen