3D-Mikrokalibrierstrukturen und Referenzflächen zur quantitativen Analyse der Topographie von mikrostrukturierten Membranen
Fachliche Zuordnung
Mikrosysteme
Förderung
Förderung von 2004 bis 2007
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5436818
Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren
Schwerpunktprogramme
