Nanomesstechnik (A02)

• Fachliche Zuordnung: Messsysteme
• Förderung: Förderung von 2002 bis 2013
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5485337

Im Teilprojekt A2 sollen die wissenschaftlichen Grundlagen für interferenzoptische Längenund Winkelmesssysteme sowie für optische, taktile und Rastersonden-Mikrotastsysteme grundlegend weiterentwickelt werden. Die Schwerpunkte liegen in der Erforschung hochgenauer und hochstabiler miniaturisierter einstrahliger lichtwellenleitergekoppelter Planspiegel-Interferometer. Es sind die wissenschaftlich-technisch möglichen Grenzbereiche der Nanomesstechnik im Hinblick auf wichtige messtechnische Parameter, wie Messauflösungen bis 0,01 nm, Messbereiche bis 450 mm, Reproduzierbarkeit < 0,3 nm und Synchronität der Messachsen < 0,2 ns, auszuloten.

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche
• Teilprojekt zu: SFB 622: Nanopositionier- und Nanomessmaschinen
• Antragstellende Institution: Technische Universität Ilmenau
• Teilprojektleiter: Professor Dr.-Ing. Tino Hausotte; Professor Dr.-Ing. Eberhard Manske