Project Details
Projekt
Nano measuring technique (A02)
Subject Area
Measurement Systems
Term
from 2002 to 2013
Project identifier
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5485337
Im Teilprojekt A2 sollen die wissenschaftlichen Grundlagen für interferenzoptische Längenund Winkelmesssysteme sowie für optische, taktile und Rastersonden-Mikrotastsysteme grundlegend weiterentwickelt werden. Die Schwerpunkte liegen in der Erforschung hochgenauer und hochstabiler miniaturisierter einstrahliger lichtwellenleitergekoppelter Planspiegel-Interferometer. Es sind die wissenschaftlich-technisch möglichen Grenzbereiche der Nanomesstechnik im Hinblick auf wichtige messtechnische Parameter, wie Messauflösungen bis 0,01 nm, Messbereiche bis 450 mm, Reproduzierbarkeit < 0,3 nm und Synchronität der Messachsen < 0,2 ns, auszuloten.
DFG Programme
Collaborative Research Centres
Subproject of
SFB 622:
Nanopositioning- and Nanomeasuring Machines
Applicant Institution
Technische Universität Ilmenau
