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Professor Dr.-Ing. Edmund P. Burte

Address Technische Hochschule Wildau
Hochschulring 1
15745 Wildau

Projects

As Applicant
- Completed projects
  - Kurzzeit-Gasphasendotierung von Silizium (Research Grants)
  - Herstellung und Charakterisierung der ferroelektrischen Schichten Strontium-Bismut-Tantalat aus Ein- und Zweikomponenten-Precursoren (Research Grants)
  - Chemische Gasphasenabscheidung dünner Silberschichten aus metallorganischen Precursoren (Priority Programmes)
  - Metallorganische Gasphasenabscheidung von dünnen Germanium-Antimon-Tellurid-Schichten (Research Grants)
  - Herstellung und Charakterisierung von silberhaltigen dünnen Germanium-Selen Schichten (Research Grants)
  - Ruthenium-Nanostäbe als Bodenelektrode für dreidimensional aufgebaute Kondensatoren (Research Grants)
  - Herstellung ultraflacher pn-Übergänge in Silizium durch Kurzzeit-Diffusion aus einer durch Atomic Layer Deposition abgeschiedenen Dotierstoffquelle (Research Grants)
  - MOCVD von Strotium-Bismut-Tantalat / Bismut-Tantalat-Niobat - Schichten und ferroelektrische Speicherkondensatoren (Research Grants)
  - Entwurf, Optimierung, CMOS-kompatible Herstellung und Charakterisierung von abstimmbaren planaren/koplanaren DGS-Filtern (Research Grants)
  - Atomlagenabscheidung von Germanium-Antimon-Tellurid (Research Grants)
  - Chemische Gasphasenabscheidung von super-harten Ruthenium-Diborid-Schichten (Research Grants)
  - Capacitive and ohmic microelectromechanical switches with bridges made of spring stell, especially for application in high frequency systems (Research Grants)
  - Atomic Layer Deposition of Germanium-Antimony-Telluride (Research Grants)
  - Atomic layer deposited dopant oxide films for doping of germanium and silicon-germanium substrates: Deposition – Flash Lamp Annealing – SIMS metrology (Research Grants)

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