Ruhr-Universität Bochum
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik
Adresse
Universitätsstraße 150
44801 Bochum
Deutschland
GERiT
Diese Institution in GERiT
44801 Bochum
Projekte
Forschungsgruppen
abgeschlossene Projekte
FOR 1522: Multiphysikalische Synthese und Integration komplexer Hochfrequenz-Schaltungen - MUSIK
(Sprecher
Hein, Matthias
)
HF-MEMS-Bauelemente, M-Systeme und Hybridintegration
(Antragsteller
Hoffmann, Martin
)
Sachbeihilfen
abgeschlossene Projekte
Grundlagen für ballistische Elektronik in Graphen
(Antragsteller
Baus, Matthias
;
Kurz, Heinrich
;
Seyller, Thomas
)
Grundlagen für ballistische Elektronik in Graphen
(Antragsteller
Kunze, Ulrich
)
Silicium-Volumenmikromechanik für faseroptische Schalter und Dämpfungsglieder
(Antragsteller
Voges, Edgar
)
Forschungsgroßgeräte
abgeschlossene Projekte
PVD Cluster-Anlage
UV-Lithografie- und Bond-Aligner
UV-Maskenbelichter
Sonderforschungsbereiche
abgeschlossene Projekte
Integration einer Multifunktionalen Nanoanalytik
(Teilprojektleiter
Hoffmann, Martin
)
Nanotools für NPM-Maschinen
(Teilprojektleiter
Hoffmann, Martin
;
Sinzinger, Stefan
)
Schwerpunktprogramme
laufende Projekte
ADOPT - Adaptive THz Optik
(Antragstellerinnen / Antragsteller
Ament, Christoph
;
Bechtold, Tamara
;
Hoffmann, Martin
;
Wallrabe, Ulrike
)
Räumliche Positionierung und funktionelle Manipulation von tropfenbasierten Systemen
(Antragsteller
Ament, Christoph
;
Hoffmann, Martin
)
abgeschlossene Projekte
Flexible Hochgeschwindigkeits-Dünnfilmtransistoren und -Schaltungen basierend auf großflächig hergestellten zweidimensionalen Übergangsmetall-Dichalkogenide
(Antragstellerinnen
Bock, Claudia
;
Devi, Anjana
)
Realisierung eines integrierten Mikroauges aus elektrisch verstimmbaren Membran-Mikrolinsen und -prismen sowie variablen Blenden und Filtern.
(Antragsteller
Ambacher, Oliver
;
Hoffmann, Martin
;
Oesterschulze, Egbert
;
Sinzinger, Stefan
)
Transregios
laufende Projekte
Dielektrische THz-Wellenleiter und MEMS für integrierte THz-Schaltungen
(Teilprojektleiter
Hoffmann, Martin
)
Integriertes Graduiertenkolleg
(Teilprojektleiterinnen / Teilprojektleiter
Czylwik, Andreas
;
Häring, Lars
;
Schmitt, Lisa
)
Konzepte für Hochgeschwindigkeits-Strahlformung bei THz-Frequenzen
(Teilprojektleiterinnen / Teilprojektleiter
Czylwik, Andreas
;
Häring, Lars
;
Schall-Giesecke, Anna Lena
;
Schmitt, Lisa
)
Gerätezentren
abgeschlossene Projekte
Gerätezentrum Mikro-Nano-Integration
(Antragsteller
Hoffmann, Martin
;
Müller, Jens
;
Schaaf, Peter
)
Gerätezentrum Mikro-Nano-Integration - Fortsetzungsantrag
(Antragsteller
Hoffmann, Martin
;
Müller, Jens
;
Schaaf, Peter
)
