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Institution

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Technische Universität Chemnitz
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Professur für Mikrosysteme und Medizintechnik

Adresse Reichenhainer Straße 70
09126 Chemnitz
Deutschland

GERiT Diese Institution in GERiT

09126 Chemnitz

Projekte

Schwerpunktprogramme
- abgeschlossene Projekte
  - Entwicklung einer Strategie zur produktionsbegleitenden Messung in der Silizium- Mikromechanik auf der Basis von Teststrukturen - STRATEST
    (Antragsteller Dötzel, Wolfram )
Sonderforschungsbereiche
- abgeschlossene Projekte
  - Adaptive Mehrbereichs-Sensorarrays zur Vibrationsanalyse
    (Teilprojektleiter Mehner, Jan )
  - Experimentelle Charakterisierung - Modelladaption, Zuverlässigkeit
    (Teilprojektleiter Dötzel, Wolfram )
  - Komponentenentwurf
    (Teilprojektleiter Dötzel, Wolfram )
  - Positioniersystem
    (Teilprojektleiter Dietzsch, Michael ; Dötzel, Wolfram ; Geßner, Thomas ; Manthey, Wolfgang )
Forschungsgroßgeräte
- abgeschlossene Projekte
  - Messgerät zur 3D-Bewegungsanalyse von Mikrostrukturen
  - Thermografie-System
Forschungsgruppen
- abgeschlossene Projekte
  - Modellierung heterogener multifunktionaler Komponenten und Systeme
    (Antragsteller Mehner, Jan )
Sachbeihilfen
- abgeschlossene Projekte
  - Entwicklung und Untersuchung eines MEMS-basierten Mikro-SPM-Kopfarrays mit austauschbaren Cantilevern
    (Antragsteller Brand, Uwe ; Mehner, Jan )
  - Hochempfindliche Bewegungsdetektion auf Basis feldemittierender Kohlenstoffnanoröhren
    (Antragsteller Mehner, Jan ; Schulz, Stefan E. )
Exzellenzcluster
- abgeschlossene Projekte
  - EXC 1075: Technologiefusion für multifunktionale Leichtbaustrukturen - MERGE
    (Sprecher Kroll, Lothar )

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