Thermografie-System

• Fachliche Zuordnung: Systemtechnik ; Medizin
• Förderung: Förderung in 2016
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 321928886

Mit Hilfe des beantragten Gerätes ist es möglich, schnelle transiente Temperaturänderungen an Mikrosensoren und -aktuatoren experimentell zu ermitteln und mit Simulationsdaten zu vergleichen. Mikroaktuatoren werden für viele Anwendungen mit thermischen Aktuatoren ausgestattet (z.B. miniaturisierte Materialprüfeinrichtung, Elektrodenzustellmechanismen). Sie ermöglichen im Vergleich zu elektrostatischen Aktuatoren eine relativ große Kraftwirkung bei einer geringen Chipfläche. Auf dem Gebiet der Mikrosensorik beeinträchtigen parasitäre thermische Effekte wie die thermoelastische Dämpfung, thermomechanische Verspannungen an Federn oder die Wölbung von Oberflächen wichtige Funktionsparameter. Zukünftige werden Mikrosysteme (MEMS) durch nanoelektromechanische Komponenten (NEMS) ergänzt (z.B. piezoresistive CNT oder funktionale Schichten). Die thermische Charakterisierung der Nanostrukturen ist oftmals nur unter Vakuumbedingen möglich, deshalb ist die Kopplung des beantragten Thermografie-Systems über ein spezielles Sichtfenster an einen zur Verfügung stehenden Vakuum-Waferprober notwendig. Für Anwendungen von Mikro- und Nanosystemen für die Medizintechnik und Bioanalyse müssen ebenso thermische Wechselwirkungen mit Zellen und dem Gewebe mit hoher Auflösung quantifiziert werden. Für diese Forschungsarbeiten ist ein Thermografie-System mit hoher zeitlicher, örtlicher und Temperaturauflösung erforderlich. Damit können theoretische Erkenntnisse mit experimentellen Daten bestätigt werden

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Thermografie-System
• Gerätegruppe: 8620 Strahlungsthermometer, Pyrometer, Thermosonden
• Antragstellende Institution: Technische Universität Chemnitz
• Leiter: Professor Dr.-Ing. Jan Mehner