Waferbonder

• Fachliche Zuordnung: Astrophysik und Astronomie
• Förderung: Förderung in 2008
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 96747961

Im Rahmen des Sonderforschungsbereiches „Gravitationswellenastronomie“ werden Forschungsarbeiten bezüglich Gitter für extrem anspruchsvolle Interferometer (Gravitationswellendetektoren) durchgeführt. Die Träger der Gitter müssen eine extrem hohe mechanische Güte sowie eine hohe Biegesteifigkeit aufweisen (siehe Berichte und Anträge zum Projekt). Die optischen Parameter der Gitter selbst sind so herausfordernd, dass sie auf den zugehörigen Gitterträgern nicht herstellbar sind. Der einzige Weg zu diesen Gittern besteht darin, die lithographische Herstellung der Gitter inklusive ihrem Schichtsystem auf einem dünneren lithographietauglichen Substrat vorzunehmen und danach die Struktur Face down auf den eigentlichen Gitterträger zu bonden. Im Anschluss muss das dünne Substrat selektiv abgeätzt werden.Der beantragte Waferbonder dient dazu, die oben beschriebenen beiden Teile miteinander zu verbonden. Eine Alternative zu dieser Verfahrensweise und zu der Investition eines Bonders ist derzeit nicht erkennbar.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Gerätegruppe: 2160 Lötmaschinen, Lötbäder, Kontaktiergeräte
• Antragstellende Institution: Friedrich-Schiller-Universität Jena
• Leiter: Dr. Ernst-Bernhard Kley