Elektronenstrahllithographiesystem mit Interferometertisch
Zusammenfassung der Projektergebnisse
Haupteinsatzgebiet des e_LiNE ist die Herstellung und Charakterisierung von Röntgenwellenleitern: Röntgenwellenleiter sind neuartige Röntgenoptiken für den Synchrotronbereich, die als kohärente quasi-Punktquellen für Bildgebungsverfahren genutzt werden können. Das e_LiNE wurde sowohl zur Herstellung als auch zur Charakterisierung gebondeter zweidimensionaler Wellenleiter genutzt. Für die Wellenleiterherstellung wurde insbesondere die am e_LiNE integrierte Fixed-Beam-Moving-Stage (FBMS)-Funktionalität benötigt, die eine schreibfeldunabhängige Belichtung von sub-100 nm-Strukturen auf Skalen von Millimetern ermöglicht, wie es mit der traditionellen Schreibfeldbelichtung nicht in hinreichender Qualität realisiert werden kann. Die am e_LiNE hergestellten Wellenleiter wurden an verschiedenen Beamlines (ID22, ID1,ROBL) der ESRF (Grenoble) und an der Beamline P03 und einem dedizierten Wellenleitermessplatz an der Beamline P10 an PETRA III (DESY, Hamburg) u.a. für holographische Abbildungen eingesetzt, und die Rekonstruktion wurde erfolgreich durchgeführt. Weitere Einsatzgebiete des e_LiNE sind die Präparation von Substraten für die ortskontrollierte Kristallzucht von Gruppe III-Nitrid Nanostrukturen, die elektrische Kontaktierung von einzelnen InN Nanodrähten und die Präparation von nanostrukturierten Spinjektoren in GaN-Schichten (Nutzung durch IV. Physikalisches Institut, Universität Göttingen).
Projektbezogene Publikationen (Auswahl)
- „Holography and diffractive x-ray imaging using waveguide as quasipoint sources“ New J. Phys. 12 035008 (2010)
Giewekemeyer et al.
- „The Göttingen Holography Endstation of Beamline P10 at PETRAIII / DESY“ AIP Conf Proc Nol 1365, pp 96-99 (2011)
Kalbfleisch et al.
