Ion beam etching system with residual gas analysis

• Subject Area: Condensed Matter Physics
• Term: Funded in 2025
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 556138159

No abstract available

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Major Instrumentation: Ionenstrahl-Ätzanlage mit Restgasanalyse
• Instrumentation Group: 5180 Elektronen- und Ionenstrahl-Quellen und -Bearbeitungsgeräte
• Applicant Institution: Universität Konstanz
• Leader: Professor Dr. Sebastian Gönnenwein