ECM-Bauteile als programmierbare 3D-Verbindungen (B01)

• Fachliche Zuordnung: Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
• Förderung: Förderung seit 2025
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 528378584

Um den größtmöglichen Nutzen aus den aktiven Bauelementen im BEOL zu ziehen, müssen wir die Möglichkeit haben, die Schaltkreise bei Bedarf neu zu verdrahten. Dies kann zwar mit Hilfe von Transistoren geschehen, aber ein direktes rekonfigurierbares Verdrahtungsschema wäre viel effizienter. Zu diesem Zweck werden wir auf der langjährigen Erfahrung der Gruppe am FZJ mit elektrochemischen Metallisierungs-Widerstandsschaltzellen aufbauen, die viele Möglichkeiten bieten, Verbindungen in verschiedene Richtungen zu konstruieren. Basierend auf dieser Erfahrung wurde ein neues und flexibles programmierbares Metallisierungs-Schema vorgeschlagen, das eine weitere flexible Option zur Rekonfiguration von Schaltungen darstellt, das auf Systemebene verwendet werden kann. Das Ziel der ersten Phase ist es, die Machbarkeit eines solchen flexiblen und programmierbaren Verdrahtungskonzepts zu demonstrieren.

• DFG-Verfahren: Transregios
• Teilprojekt zu: TRR 404: Zukunftsweisende Elektronik durch aktive Bauelemente in drei Dimensionen (Active-3D)
• Antragstellende Institution: Technische Universität Dresden
• Mitantragstellende Institution: Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
• Teilprojektleiter: Professor Dr. Joachim Knoch; Professor Dr. Ilia Valov