Vertikale Perowskit-Feldeffekttransistoren (A07)

• Fachliche Zuordnung: Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
• Förderung: Förderung seit 2025
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 528378584

Für Hochfrequenzanwendungen ist eine vertikale Bauelementearchitektur mit sehr kleinen Abmessungen vorteilhafter als laterale Bauelementearchitekturen. Perowskit-Materialien haben im Bereich der verbesserten Solarzellen große Erfolge erzielt. Ihre Anwendung auf andere Halbleiterbauelemente wird jedoch nicht in gleicher Weise erforscht. Sie bieten eindeutige Vorteile in Bezug auf die Integrationstechnologie für das BEOL. Basierend auf den führenden Aktivitäten auf dem Gebiet der Perowskit-Solarzellen an der TU Dresden und dem Integrations-Know-how bei AMO wird hier ein neuartiges, vertikales Bauelementekonzept unter Verwendung von Perowskiten im Mittelpunkt der Forschung stehen. Im Rahmen des TRR wird das Projekt zunächst das Konzept in Phase 1 demonstrieren und vertikale Bauelemente mit mittlerer bis hoher Leistung liefern.

• DFG-Verfahren: Transregios
• Teilprojekt zu: TRR 404: Zukunftsweisende Elektronik durch aktive Bauelemente in drei Dimensionen (Active-3D)
• Antragstellende Institution: Technische Universität Dresden
• Mitantragstellende Institution: Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
• Teilprojektleiterinnen: Maryam Mohammadi, Ph.D.; Professorin Dr. Yana Vaynzof