SFB 379:  Micromechanical Sensor and Actuator Arrays

• Subject Area: Computer Science, Systems and Electrical Engineering ; Mechanical and Industrial Engineering
• Term: from 1995 to 2006
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5479322

No abstract available

• DFG Programme: Collaborative Research Centres

Completed projects

• A01 - Komponentenentwurf (Project Head Dötzel, Wolfram )
• A02 - Systementwurf (Project Head Müller, Dietmar )
• A3 - Applikative Systemlösungen (Project Heads Bocklisch, Steffen F. ;  Ebest, Gunter ;  Geßner, Thomas ;  Radehaus, Christian )
• A04 - Adaptive Mehrbereichs-Sensorarrays zur Vibrationsanalyse (Project Head Mehner, Jan )
• A5 - Positioniersystem (Project Heads Dietzsch, Michael ;  Dötzel, Wolfram ;  Geßner, Thomas ;  Manthey, Wolfgang )
• A06 - Virtuelles Prototyping mikro-elektromechanischer Aktoren (Project Head Maißer, Peter )
• B1 - Sensor-/ Aktorarrays unter Verwendung von Piezopolymeren (Project Head Manthey, Wolfgang )
• B02 - Experimentelle Charakterisierung - Modelladaption, Zuverlässigkeit (Project Head Dötzel, Wolfram )
• B3 - Raster-Sonden-Array (Project Head Hietschold, Michael )
• B05 - Beugungsgitter-Mikrosystem als Sensorarray für eine spektrale Bildscanner-Technologie (Project Head Hübler, Arved C. )
• B06 - Kraftsensorarrays (Project Head Hietschold, Michael )
• C02 - Neue Technologieplattform für die "Oberflächennahe Silizium-bulk-Mikromechanik" (Project Head Geßner, Thomas )
• C3 - Scannerkomponenten mit breitbandigen dielektrischen Reflexionsschichten (Project Heads Radehaus, Christian ;  Richter, Frank )
• C04 - Niedertemperaturbonden für rekonfigurierbare Resonatorarrays (Project Head Hiller, Karla )
• C05 - Vertikal-FET in "Oberflächennaher Si-Bulk-Mikromechanik (Project Head Ebest, Gunter )
• Z - Zentrale Aufgaben für den SFB (Project Head Höppner, Gottfried )

• Applicant Institution: Technische Universität Chemnitz
• Spokesperson: Professor Dr. Thomas Geßner (†)