Scannerkomponenten mit breitbandigen dielektrischen Reflexionsschichten (C 3)

• Fachliche Zuordnung: Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
• Förderung: Förderung von 1995 bis 2000
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5479322

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche
• Teilprojekt zu: SFB 379: Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays
• Antragstellende Institution: Technische Universität Chemnitz
• Teilprojektleiter: Professor Dr. Christian Radehaus; Professor Dr. Frank Richter (†)