Parallelisierte taktile Messtechnik für Mikrostrukturen

• Antragsteller: Professor Dr. Stephanus Büttgenbach; Professor Dr.-Ing. Rainer Tutsch
• Fachliche Zuordnung: Mikrosysteme
• Förderung: Förderung von 2004 bis 2011
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5436775

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Schwerpunktprogramme
• Teilprojekt zu: SPP 1159: Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen