Parallelisierte taktile Messtechnik für Mikrostrukturen

• Antragsteller: Professor Dr.-Ing. Rainer Tutsch
• Fachliche Zuordnung: Mikrosysteme
• Förderung: Förderung von 2004 bis 2007
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5436757

In der makroskopischen geometrischen Messtechnik werden in den letzten Jahren zusätzlich zu den etablierten taktilen Messverfahren zunehmend auch optische Messtechiken eingesetzt. Jedoch stellen diese weniger einen Ersatz für die taktilen Verfahren, als vielmehr eine sinnvolle Ergänzung zu diesen dar. Aufgrund der individuellen Vorteile der jeweiligen Messprinzipien konnte so im makroskopischen Bereich die Bandbreite der zu erfassenden Strukturen deutlich erweitert werden. Für die geometrische Erfassung von Mikrostrukturen werden derzeit hingegen fast ausschließlich optische Verfahren eingesetzt. Dies ist jedoch nicht darauf zurückzuführen, dass diese den klassischen taktilen Verfahren grundsätzlich überlegen wären, als vielmehr auf den Umstand, dass die taktilen Messverfahren bislang nicht hinreichend an die besonderen Erfordernisse der Mikromesstechnik angepasst werden konnten. Im Rahmen des beantragten Vorhabens sollen daher die Voraussetzungen geschaffen werden, die einen effizienten Einsatz der taktilen geometrischen Messtechnik auf dem Gebiet der fertigungsnaben Messung von Mikrostrukturen ermöglichen. Ein zentrales Ziel ist dabei die Parallelisierung der taktilen Antastung durch den Einsatz von Mikrotaster-Arrays. Geeignete Einzeltaster wurden am Institut eines der Antragsteller bereits irn Rahmen vorangegangener Arbeiten entwickelt. Für die parallele Antastung zahlreicher, auf einem gemeinsamen Trägersubstrat befindlicher Strukturen sind geeignete Antaststrategien zu erarbeiten, die zunächst anhand von Simulationsrechnungen evaluiert werden sollen. Neben Arbeiten zur Kalibrierung eines derartigen Messsystems sind ferner Untersuchungen zum fertigungsgerechten Einsatz parallelisierter taktiler Koordinatenmessgeräte vorgesehen. Dies beinhaltet sowohl die Formulierung von Messstrategien, als auch die Erarbeitung von Maßgaben für ein prüfgerechtes Design von Mikrostrukturen.

• DFG-Verfahren: Schwerpunktprogramme
• Teilprojekt zu: SPP 1159: Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen