Epitaktische Rekristallisation von Si02 nach Ionenimplantation oder durch Laserbeschuß

• Antragsteller: Professor Dr. Klaus-Peter Lieb (†)
• Fachliche Zuordnung: Experimentelle Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung von 2002 bis 2006
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5366859

Kürzlich ist es uns gelungen, das seit langem bestehende Problem der epitaktischen Rekristallisation von a-Quarz nach der Amorphisierung durch Ionenbeschuß grundsätzlich zu lösen, und zwar durch eine chemisch induzierte Rekristallisation (AlkaliImplantation und Anlassen unter Sauerstoff) und ein Laserverfahren (Aufschmelzen unter Excimer-Laserbestrahlung und Sauerstoff). Ziel des beantragten Vorhabens ist es, diese beiden Verfahren detailliert bezüglich ihrer Effizienz und er zugrundeliegenden Mechanismen zu untersuchen. Methoden der Ionenstrahlanalyse erlauben es, die Kristallinität der Matrix und das diffusive Verhalten des Implantats und des Sauerstoffs messen. Ferner soll untersucht werden, ob diese Verfahren auch nach der Implantation von die Photoluminiszenz stimulierenden Ionen erfolgreich sind.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen