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Integriert optische Schaltmatrix mit elektrostatischem Antrieb

Fachliche Zuordnung Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
Förderung Förderung von 2002 bis 2008
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5361880
 
Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren Schwerpunktprogramme
 
 

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