Reaktive Silane und Thiole zur Herstellung von Self-Assembly-Schichten, deren Strukturierung und Applikation in der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik
(B 2)
Fachliche Zuordnung
Werkstofftechnik
Förderung
Förderung von 1996 bis 1998
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5476251
Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren
Sonderforschungsbereiche