Analyse von Hochleistungsbauelementen mit Hilfe protoneninduzierter Ladungen

• Antragsteller: Professor Dr. Ludwig Josef Balk
• Fachliche Zuordnung: Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
• Förderung: Förderung von 2001 bis 2005
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5328722

Hochleistungsbauelemente gewinnen sowohl in der Antriebstechnik als auch in der Energietechnik immer mehr an Bedeutung. Die großen Spannungen, für die diese Bauelemente ausgelegt werden, erfordern pn-Übergänge, die tief im Inneren der Bauteile liegen. Eine vielversprechende Möglichkeit, um diese elektronischen Eigenschaften analysieren zu können, bietet der Einsatz von hochenergetischen Protonen (IBIC). Gegenüber dem EBIC-Verfahren hat es neben der wesentlich größeren Eindringtiefe den Vorteil, daß sich die Ionen aufgrund ihrer größeren Masse wesentlich geringer von den elektrischen Feldern ablenken lassen, was sich besonders beim Einsatz von Vorspannungen an den pn-Übergängen auswirkt. Unter Einsatz eines 2 MeV-van-der Graaff-Beschleunigers der National University of Singapore sind erste IBIC-Untersuchungen in der Arbeitsgruppe des Antragstellers an lichtzündbaren Hochleistungs-Thyristoren durchgeführt worden. Dabei hat sich gezeigt, daß sich trotz der großen Dimensionen der Bauteile tiefer liegende Raumladungszonen abbilden lassen.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen