MOVPE von Gruppe-III-Nitriden mit intramolekular koordinierten Prekursoren. Mechanistische Studien und Modellierung der Prozesse.

Antragsteller Professor Dr.-Ing. Gunther Brenner; Professor Dr. Rochus Schmid
Fachliche Zuordnung Technische Chemie
Förderung Förderung von 2001 bis 2008
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5313702
 

Projektbeschreibung