MOVPE von Gruppe-III-Nitriden mit intramolekular koordinierten Prekursoren. Mechanistische Studien und Modellierung der Prozesse.

• Applicant: Professor Dr.-Ing. Gunther Brenner
• Subject Area: Fluid Mechanics
• Term: from 2001 to 2006
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5313696

No abstract available

• DFG Programme: Priority Programmes
• Subproject of: SPP 1119: Inorganic Materials through Vapor-Phase Synthesis: Interdisciplinary Concepts for Development, Understanding and Controlling of CVD Processes