Das gemeinsame Ziel des Forschungsvorhabens ist die Entwicklung einer Technologie zur Abscheidung von Übergangsmetall und -metalloxidfilmen aus neuartigen Precursoren (Chemie) am Beispiel von Eisen, Ruthenium und Wolfram durch optimierte MOCVD-Verfahren (Ingenieurswissenschaften). Die Kombination von Arbeits- und Vorgehensweise aus den Ingenieurswissenschaften (Emig/Popovska) und der Chemie (Zennecke) ermöglicht die Erreichung des anspruchsvollen Ziels.
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