Maßgeschneiderte Metallkomplexe für die Darstellung von Metall- und Metalloxidfilmen

Antragstellerinnen / Antragsteller Professorin Dr.-Ing. Nadejda Popovska-Leipertz; Professor Dr. Ulrich Zenneck

Fachliche Zuordnung Anorganische Molekülchemie - Synthese, Charakterisierung
Technische Chemie

Förderung Förderung von 2001 bis 2008

Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5313478

Projektbeschreibung

Das gemeinsame Ziel des Forschungsvorhabens ist die Entwicklung einer Technologie zur Abscheidung von Übergangsmetall und -metalloxidfilmen aus neuartigen Precursoren (Chemie) am Beispiel von Eisen, Ruthenium und Wolfram durch optimierte MOCVD-Verfahren (Ingenieurswissenschaften). Die Kombination von Arbeits- und Vorgehensweise aus den Ingenieurswissenschaften (Emig/Popovska) und der Chemie (Zennecke) ermöglicht die Erreichung des anspruchsvollen Ziels.

DFG-Verfahren Schwerpunktprogramme

Teilprojekt zu SPP 1119: Anorganische Materialien durch Gasphasensynthese: Interdisziplinäre Ansätze zu Entwicklung, Verständnis und Kontrolle von CVD-Verfahren