Alternative MOVCD-Precursoren zur Abscheidung von AlSb, GaSb und InSb

• Applicants: Professorin Dr. Katharina Kohse-Höinghaus; Professor Dr. Stephan Schulz; Professor Dr. Klaus Wandelt
• Subject Area: Technical Chemistry
• Term: from 2001 to 2008
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5310674

Das Potential der Verbindungstypen 1 - 3 hinsichtlich ihrer Eignung als Single-Source-Precursoren für die Abscheidung epitaktischer AlSb-, GaSb- und InSb-Filme soll detailliert in Kooperation mit Dr. Nigel Mason, University of Oxford, untersucht werden. Darüber hinaus sollen weitere molekulare Precursoren mit einem optimierten Ligandendesign synthetisiert werden. Ein weiteres Anliegen ist die Synthese neuer Stibane des Typs R2SbH (R = NMe2, NEt2), Sb (NHR)3 oder Sb(PR2)3 mit einem speziellen Eigenschaftsprofil: Sie sollen nach Möglichkeit bei Raumtemperatur flüssig sein, einen hohen Dampfdruck haben und sich schon unter relativ milden Bedingungen thermisch glatt zersetzen lassen, um als Sb-Quelle für CVD-Prozesse geeignet zu sein. Sie sollen anschließend gemeinsam mit Triorganoverbindungen der 13. Gruppe, z.B. Me3M, Et3M (M = Al, Ga, In) H3AlH mit einem klassischen Zweikomponenten-CVD-Prozeß zu den binären Materialien pyrolysiert werden.

• DFG Programme: Priority Programmes
• Subproject of: SPP 1119: Inorganic Materials through Vapor-Phase Synthesis: Interdisciplinary Concepts for Development, Understanding and Controlling of CVD Processes