Untersuchungen zur Anwendung von c-BN-Filmen in der Rastersondenmikroskopie - Charakterisierung der mechanischen und elektrischen Eigenschaften von c-BN-Schichten

• Antragsteller: Privatdozent Dr. Wilhelm Kulisch
• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung von 1999 bis 2003
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5214380

Ziel dieses Vorhabens ist die Anwendung von c-BN-Schichten in der Mikrosystemtechnologie, insbesondere für Sonden für die Rastersondenmikroskopien. Um dieses Ziel zu erreichen, soll im Bereich der Technologie vor allem die Abscheidung von c-BN auf nicht-planaren Substraten (insbesondere Spitzen) sowie die Strukturierung von c-BN-Schichten untersucht werden. Diese Arbeiten werden von einer umfassenden Charakterisierung von c-BNFilmen bezüglich ihrer mechanischen und elektrischen Eigenschaften begleitet, die letztlich zu einer Schichtoptimierung im Hinblick auf die geplanten Anwendungen führen soll.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen
• Beteiligte Person: Professor Dr. Rainer Kassing (†)