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Heteroepitaxie von Diamant zur Herstellung einkristalliner Diamantschichten mittels Iridiumzwischenschichten

Fachliche Zuordnung Physik der kondensierten Materie
Förderung Förderung von 1999 bis 2003
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5212456
 
Die Arbeiten des geplanten Forschungsvorhabens zielen auf die Realisierung großflächiger, einkristalliner Diamantschichten. Zum Erreichen dieses Zieles soll die heteroepitaktische Abscheidung von Diamant im Mikrowellenplasma auf Einkristallen bzw. einkristallinen Schichten untersucht werden. Die vor kurzem erzielten Erfolge mit Iridium als Zwischenschicht auf SrTiO3-Einkristallen dienen dabei als Grundlage. In einem ersten Schritt soll das Wachstum der Iridiumschichten auf SrTiO3 und die nachfolgende Deposition der Diamantschichten studiert sowie die Qualität dieser Schichten optimiert werden. In einem zweiten Schritt soll das Problem der extremen Eigenspannungen aufgrund der Fehlpassung der thermischen Ausdehnungskoeffizienten durch Wahl geeigneter anderer Einkristalle, auf denen die Ir-Schichten aufgebracht werden, gelöst bzw. minimiert werden. Die Arbeiten umfassen neben Untersuchungen zum Wachstum der Ir-Schichten auf den verschiedenen Einkristallsubstraten sowie zur Keimbildung von Diamant auf Ir auch eine umfassende Charakterisierung der erhaltenen Diamantschichten mittels Röntgenbeugung, Ionenchanneling, Rasterkraftmikroskopie, Transmissionselektronenmikroskopie und Ramanspektroskopie.
DFG-Verfahren Sachbeihilfen
Internationaler Bezug Schweiz
Großgeräte AFM-Aufrüstung
Gerätegruppe 5091 Rasterkraft-Mikroskope
 
 

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