Synthese von vergrabenen und optisch transparenten Übergangs-Metalloxidschichten durch Hochdosis-Ionenimplantation

• Antragsteller: Professor Dr. Bernd Rauschenbach
• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung von 1999 bis 2002
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5193596

Ziel des Forschungsvorhabens ist es, vergrabene und optisch transparenten Übergangs-Metalloxidschichten durch HochdosisSauerstoffionenimplantation und nachfolgender thermischer Behandlung zu synthetisieren. Bevorzugt sollen binäre Molybdän- bzw. Titanoxidschichten hergestellt werden, wobei der Syntheseprozeß insbesondere mittels in-situ Röntgendiffraktometrie bei unterschiedlichen Temperaturen untersucht werden soll. Eine Optimierung des Vorhabens hinsichtlich des Einsatzes vergrabener Oxidschichten für potentielle Anwendungsfelder in der Elektronik bzw. Optoelektronik wird angestrebt.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen