Fibre PROES - eine Diagnostik für wissensbasierte Entwicklung und Überwachung industrieller Plasmaprozesse mittels zeitaufgelöster optischer Emissionsspektroskopie (T09#)

• Fachliche Zuordnung: Optik, Quantenoptik und Physik der Atome, Moleküle und Plasmen
• Förderung: Förderung seit 2023
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 138690629

Die meisten Anwendungen technischer Plasmen werden empirisch auf ineffiziente Weise entwickelt. Für eine effiziente Prozessentwicklung ist ein Verständnis der Elektronendynamik nötig, um die Erzeugung prozessrelevanter Teilchen kontrollieren zu können. Dies ist mittels Phasenaufgelöster Optischer Emissionsspektroskope (PROES) möglich basierend auf umfangreichem optischem Plasmazugang und teuren ICCD Kameras. In diesem Projekt wird eine neue industriekompatible und billigere Variante, Fibre PROES, entwickelt, die auf Lichtleitern und Photomultipliern basiert. Gemeinsam mit SENTECH Instruments und basierend auf einer Kombination von Experimenten und Simulationen wird Fibre PROES vom Konzeptlevel bis zum automatisierten System entwickelt und an versch. Plasmaquellen getestet.

• DFG-Verfahren: Transregios (Transferprojekt)
• Teilprojekt zu: TRR 87: Gepulste Hochleistungsplasmen zur Synthese nanostrukturierter Funktionsschichten
• Antragstellende Institution: Ruhr-Universität Bochum
• Unternehmen: SENTECH Instruments GmbH
• Teilprojektleiter: Dr. Ihor Korolov; Professor Dr. Julian Schulze