Fertigung magnetischer Schichten für elektromagnetische Mikroaktoren (B 01)

• Subject Area: Microsystems
• Term: from 1998 to 2010
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5482803

No abstract available

• DFG Programme: Collaborative Research Centres
• Subproject of: SFB 516: Design and Manufacturing of Active Micro Systems
• Major Instrumentation: Gasfluss-Sputteranlage
• Applicant Institution: Technische Universität Braunschweig
• Co-Applicant Institution: Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik (IST); Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover
• Project Heads: Professor Dr. Günter Bräuer; Professor Dr.-Ing. Hans-Heinrich Gatzen; Professorin Dr.-Ing. Christine Ruffert