Fertigung magnetischer Schichten für elektromagnetische Mikroaktoren (B 01)

• Fachliche Zuordnung: Mikrosysteme
• Förderung: Förderung von 1998 bis 2010
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5482803

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche
• Teilprojekt zu: SFB 516: Konstruktion und Fertigung aktiver Mikrosysteme
• Großgeräte: Gasfluss-Sputteranlage
• Antragstellende Institution: Technische Universität Braunschweig
• Mitantragstellende Institution: Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik (IST); Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover
• Teilprojektleiterinnen / Teilprojektleiter: Professor Dr. Günter Bräuer; Professor Dr.-Ing. Hans-Heinrich Gatzen; Professorin Dr.-Ing. Christine Ruffert