Variationen irregulärer Strukturelemente in MEMS Arrays zur Minimierung von Wechselwirkungsphänomenen mit Licht (View)

• Antragsteller: Professor Dr. Hartmut Hillmer
• Fachliche Zuordnung: Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik ; Optik, Quantenoptik und Physik der Atome, Moleküle und Plasmen
• Förderung: Förderung seit 2022
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 509885786

Arrays mit Millionen von MEMS Mikrospiegeln können Licht durch elektrostatische Aktuation dynamisch modulieren und lenken. Wenn sich jedoch Lichtwellen durch Arrays mit periodischen und genau gleich orientierten Mikrospiegeln z.B. in Gebäude-Fenstern ausbreiten, wird das transmittierte Licht gebeugt und es können Geisterbilder entstehen, was die klare Sicht durch das Fenster beeinträchtigen kann. Eine signifikante Verbesserung soll dadurch erreicht werden, dass möglichst irreguläre Strukturen eingesetzt werden. Dabei sollen besonders auch Freiformen, unterschiedliche Aufstellwinkel und verschiedene Scharnierorientierungen zum Einsatz kommen. Ferner soll die UV Beständigkeit und Farbneutralität untersucht werden. Viele unterschiedliche Arrays sollen simuliert, designt, technologisch hergestellt und experimentell charakterisiert werden.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen