Virtuelles Prototyping mikro-elektromechanischer Aktoren (A 06)

• Fachliche Zuordnung: Mikrosysteme
• Förderung: Förderung von 1998 bis 2004
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5479322

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche
• Teilprojekt zu: SFB 379: Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays
• Antragstellende Institution: Technische Universität Chemnitz
• Teilprojektleiter: Professor Dr. Peter Maißer