Virtuelles Prototyping mikro-elektromechanischer Aktoren (A 06)

• Subject Area: Microsystems
• Term: from 1998 to 2004
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5479322

No abstract available

• DFG Programme: Collaborative Research Centres
• Subproject of: SFB 379: Micromechanical Sensor and Actuator Arrays
• Applicant Institution: Technische Universität Chemnitz
• Project Head: Professor Dr. Peter Maißer