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Projekt
Vergleichende Angriffspotenzialbewertung von visibler Optik und E Beam Probing
Antragsteller
Dr.-Ing. Sebastian Brand; Professor Dr. Jean-Pierre Seifert
Fachliche Zuordnung
Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
Förderung
Förderung seit 2020
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 440183574
Positioniert im Bereich 1 (Nanoelektronik für Sicherheit) und IG3 (Resilienz gegen physische Angriffe) des Calls "Nano Security: Von der Nano-Elektronik bis zu sicheren Systemen" zielt dieser Projektantrag darauf ab, neue Angriffsmöglichkeiten zu untersuchen, die für die nanoskalige Elektronik bisher unerreichbar schienen. Die derzeit erfolgreichsten Angriffe sind optische Techniken zur IC-Signalverfolgung und Fehlerlokalisierung, die durch die Miniaturisierung von Technologieknoten unter 10nm stark in Frage gestellt werden. Sie erfordern komplexe Zugriffs-Strategien wie z.B. ein Chip-Substrat, das bis in den µm-Bereich [1] gedünnt ist. Im Rahmen dieses Projekts sollen neuartige physikalische Seitenkanal-Angriffstechniken auf Basis von Elektronenstrahlen mittels E-Beam Probing von der Chiprückseite auf entsprechenden modernen, hochintegrierten Schaltungen getestet werden. E-Beam-Probing durch das Siliziumsubstrat von der Chiprückseite wurde bereits für 120nm-Technologien gezeigt [2]. Die erfolgreiche Anwendung zur Fehlerlokalisierung wurde jedoch erst kürzlich an einer 10nm-Knoten-FinFET-Technologie [3] demonstriert. Eine Grundlagenforschung zu dieser Technik als IC-Angriff auf Nanotechnologie ist daher dringend erforderlich, da eine im Vergleich zu optischen Verfahren deutlich verbesserte Ortsauflösung im Nanometerbereich ermöglicht wird und damit vollständig neue Angriffsszenarien entstehen, die die Hoffnung auf Sicherheit durch Nano-Technologie in Frage stellen werden. Im Rahmen dieses Projektes werden daher e-Beam-basierte Angriffsstrategien in Kombination mit neuen FIB-Vorbereitungs-Strategien für den präzisen Backside Zugang zu IC-Funktionsstrukturen auf modernen 10/7nm-Chip-Technologien erforscht und mit bisher eingesetzten optischen Methoden verglichen. IC-Angriffe mit solchen Techniken sind derzeit unbekannt.
DFG-Verfahren
Schwerpunktprogramme
Mitverantwortlich
Professor Dr.-Ing. Christian Boit
