Substratschonende Präzisionsbearbeitung in Low-κ-Mehrschichtsystemen durch synergetische Nutzung von UV-Nanosekunden- und NIR-Femtosekunden-Laserpulsen (SYNULAS)

• Antragsteller: Professor Dr. Heinz Paul Huber; Professor Dr. Wolfgang Schulz
• Fachliche Zuordnung: Produktionsautomatisierung und Montagetechnik
• Förderung: Förderung seit 2019
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 423531130

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen